10.8 1 × 10-10 mbar 至 1.2 bar (abs)

超高真空闸阀

超高真空隔离的标准

11.1 1 × 10-8 mbar 至 1.6 bar (abs)

高真空闸阀

高真空隔离标准

14.0

高真空闸阀

适用于标准高循环真空隔离

16.2 1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

高压摆式隔离阀

蒸发器和溅射应用中隔离要求的标准