精确性和稳定性

用于薄膜镀膜工艺的VAT真空阀组合，即使在不断变化的工艺条件下也能实现精确、稳定的操作。主要特点包括即使在低电导率水平下也能精确控制气体流量，最大限度地减少残余气体和颗粒物的排放，并采用模块化设计，可以对所需的真空阀进行优化配置以满足特定的工艺要求。

要了解更多关于VAT真空阀解决方案如何解决薄膜镀膜过程中的挑战，请从以下产品中选择。

相关系列

高真空传输阀与L-VAT

04.2

1 × 10-9 mbar 至 1.2 bar (abs)

高真空传输阀与L-VAT

适用于装载锁和工艺室隔离

高真空传输阀插件与L-MOTION

05.3

1 × 10-9 mbar 至 1.1 bar (abs)

高真空传输阀插件与L-MOTION

快速且精准，尤其适用于腐蚀性工艺

大型传输阀/插件与TWINVAT

06.1

大型传输阀/插件与TWINVAT

为显示器生产系统带来高性能

大型传输阀/插件与TWINVAT

06.3

大型传输阀/插件与TWINVAT

为显示器生产系统（大气压型）带来高性能

大型传输阀/插件/闸门型与SOLVAT

06.6

大型传输阀/插件/闸门型与SOLVAT

适用于显示、光伏和大型镀膜系统的高性能

大型传输阀/插件/闸门型与FLAPVAT

06.8

大型传输阀/插件/闸门型与FLAPVAT

适用于显示、光伏和大型镀膜系统的高性能

真空传输阀门插件与LINVAT

07.0

真空传输阀门插件与LINVAT

适用于 EFEM 和负载锁定应用的高性能

超高真空闸阀

10.8

1 × 10-10 mbar 至 1.2 bar (abs)

超高真空闸阀

超高真空隔离的标准

闸阀

12.1

1 × 10-7 mbar 至 1.6 bar (abs)

闸阀

真空隔离标准

高真空闸阀

14.0

高真空闸阀

适用于标准高循环真空隔离

隔离闸阀

15.0

1 × 10-7 mbar 至 1 bar (abs)

隔离闸阀

冲击和颗粒数极低

高真空隔离闸阀

15.1

1 × 10-8 mbar 至 1 bar (abs)

高真空隔离闸阀

冲击和颗粒数极低

超高真空隔离闸阀

15.2

1 × 10-10 mbar 至 1 bar (abs)

超高真空隔离闸阀

冲击和颗粒数极低

大型高压摆式隔离阀

16.8

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

大型高压摆式隔离阀

用于大真空流量和苛刻条件的紧凑设计

VATTERFLY 阀门

20.3

1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

VATTERFLY 阀门

在产生污染的腐蚀性真空工艺中提供可靠的隔离

气体计量阀

21.1

1 × 10-7 mbar 至 4 bar (abs)

气体计量阀

真空室的受控、可再现气流引入

排气阀

21.3

1 × 10-8 mbar 至 1 bar (abs)

排气阀

受控的真空系统排气

迷你角阀/内联阀

21.4

1 × 10-8 mbar 至 10 bar (abs)

迷你角阀/内联阀

在无压缩空气的情况下为密封或排气提供出色可靠性

角阀

24.4

1 × 10-7 mbar 至 5 bar (abs)

角阀

在大流量下提供出色可靠性

内联阀

24.5

1 × 10-7 mbar 至 5 bar (abs)

内联阀

在大流量下提供出色可靠性

全真空内联阀

25.0

1 × 10-8 mbar 至 3 bar (abs)

全真空内联阀

在恶劣工艺环境下提供最大流导

高真空角阀

26.4

1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

高真空角阀

出色的可靠性

高真内联阀

26.5

1 × 10-8 mbar 至 5 bar (abs)

高真内联阀

出色的可靠性

超高真空角阀

28.4

5 × 10-10 mbar 至 5 bar (abs)

超高真空角阀

出色的低放气性能

带软抽功能的高真空角阀

29.0

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

带软抽功能的高真空角阀

无湍流或压力脉冲的抽气、排气 (DN 25-80)

带软抽功能的高真空内联阀

29.1

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

带软抽功能的高真空内联阀

无湍流或压力脉冲的抽气、排气

超高真空全金属可变泄漏阀

59.0

UHV 至 10 bar (abs)

超高真空全金属可变泄漏阀

满足极端超高真空要求

高真空蝶形控制阀

61.3

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

高真空蝶形控制阀

快速且精准的下游压力控制

高真空蝶形控制和隔离阀

61.6

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

高真空蝶形控制和隔离阀

快速且精准的下游压力控制和隔离

高真空蝶形控制阀

61.7

高真空蝶形控制阀

卓越的可控性低电导

角控制阀

62.0

1 × 10-8 mbar 至 1.4 bar (abs)

角控制阀

高压高温解决方案

气体计量阀

62.7

1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

气体计量阀

可高效控制真空室的气流

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