用于质谱分析或气体分析的真空阀解决方案通常是定制的。在选定的VAT基本技术的基础上，我们为特定的应用开发出最佳的解决方案，如电导率、密封性、驱动、排气程度和不含颗粒、耐温性和脚印要求。

要了解更多关于VAT真空阀解决方案如何帮助完成特定的质谱和气体分析阀门任务，请选择以下具体产品。

相关系列

小型超高真空闸阀

01.0

1 × 10-10 mbar 至 2 bar (abs)

小型超高真空闸阀

适用于要求苛刻的应用的通用隔离阀

小型闸阀

01.2

1 × 10-7 mbar 至 1 bar (abs)

小型闸阀

通用隔离阀

可嵌入闸阀

08.1

1 × 10-7 mbar 至 1.6 bar (abs)

可嵌入闸阀

安装空间有限 (DN 63-100)

可嵌入闸阀

08.2

1 × 10-7 mbar 至 1.6 bar (abs)

可嵌入闸阀

安装空间有限 (DN 50)

超高真空闸阀

10.8

1 × 10-10 mbar 至 1.2 bar (abs)

超高真空闸阀

超高真空隔离的标准

超高真空隔离闸阀

15.2

1 × 10-10 mbar 至 1 bar (abs)

超高真空隔离闸阀

冲击和颗粒数极低

VATTERFLY 阀门

20.3

1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

VATTERFLY 阀门

在产生污染的腐蚀性真空工艺中提供可靠的隔离

蝶阀

21.0

1 × 10-8 mbar 至 1.3 bar (abs)

蝶阀

在紧凑的设计中提供可靠的真空隔离

气体计量阀

21.1

1 × 10-7 mbar 至 4 bar (abs)

气体计量阀

真空室的受控、可再现气流引入

排气阀

21.3

1 × 10-8 mbar 至 1 bar (abs)

排气阀

受控的真空系统排气

迷你角阀/内联阀

21.4

1 × 10-8 mbar 至 10 bar (abs)

迷你角阀/内联阀

在无压缩空气的情况下为密封或排气提供出色可靠性

角阀

24.4

1 × 10-7 mbar 至 5 bar (abs)

角阀

在大流量下提供出色可靠性

内联阀

24.5

1 × 10-7 mbar 至 5 bar (abs)

内联阀

在大流量下提供出色可靠性

高真空角阀

26.4

1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

高真空角阀

出色的可靠性

高真内联阀

26.5

1 × 10-8 mbar 至 5 bar (abs)

高真内联阀

出色的可靠性

超高真空角阀

28.4

5 × 10-10 mbar 至 5 bar (abs)

超高真空角阀

出色的低放气性能

带软抽功能的高真空角阀

29.0

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

带软抽功能的高真空角阀

无湍流或压力脉冲的抽气、排气 (DN 25-80)

带软抽功能的高真空内联阀

29.1

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

带软抽功能的高真空内联阀

无湍流或压力脉冲的抽气、排气

极高真空全金属闸阀

48.1

XHV 至 2 bar (abs)

极高真空全金属闸阀

适用于高温

极高真空全金属闸阀

48.2

XHV 至 2 bar (abs)

极高真空全金属闸阀

适用于高温

超高真空/极高真空全金属角阀-易闭式

54.1

XHV 至 2 bar (abs)

超高真空/极高真空全金属角阀-易闭式

便于关闭满足极端超高真空要求

极高真空全金属角阀

57.0

XHV 至 5 bar (abs)

极高真空全金属角阀

可满足极端的温度和辐射要求

极高真空全金属角阀

57.1

XHV 至 5 bar (abs)

极高真空全金属角阀

可满足极端的温度和辐射要求

超高真空全金属可变泄漏阀

59.0

UHV 至 10 bar (abs)

超高真空全金属可变泄漏阀

满足极端超高真空要求

气体计量阀

62.7

1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

气体计量阀

可高效控制真空室的气流

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