这些仪器的共同点是使用高真空和超高真空作为测量环境。除了对真空的精确控制外,真空的高纯度在此也尤为重要。VAT真空阀组合可以用于科学仪器,也专门考虑到了这一点。

用于科学仪器的VAT真空阀解决方案通常是为具体应用量身定做的。主要特点包括在苛刻的工艺环境中的高耐用性和长寿命。特别是在较小的仪器中,紧凑、节省空间的设计,几乎不需要经常维护,以及在高纯度和超高纯度真空环境中使用的最高级别的无颗粒。

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