精确性和稳定性

用于薄膜沉积工艺的VAT真空阀组合被设计成即使在变化的工艺条件下也能精确、稳定地运行。主要特点包括即使在低电导率水平下的精确气体流量控制，最小化的残余气体和颗粒物排放，以及模块化设计，允许所需的真空阀被优化配置以满足特定的工艺要求。

要了解更多关于VAT真空阀解决方案如何帮助解决一系列的薄膜沉积问题，请从下面列出的产品中选择。

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02.4

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02.7

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大型传输阀/插件/闸门型与SOLVAT

06.6

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大型传输阀/插件/闸门型与FLAPVAT

06.8

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适用于显示、光伏和大型镀膜系统的高性能

大型真空传输门插件与L-VAT

07.7

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闸阀

12.1

1 × 10-7 mbar 至 1.6 bar (abs)

闸阀

真空隔离标准

高压摆式隔离阀

16.2

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

高压摆式隔离阀

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带软抽功能的高真空角阀

29.0

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

带软抽功能的高真空角阀

无湍流或压力脉冲的抽气、排气 (DN 25-80)

带软抽功能的高真空内联阀

29.1

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

带软抽功能的高真空内联阀

无湍流或压力脉冲的抽气、排气

高真空蝶形控制阀

61.3

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

高真空蝶形控制阀

快速且精准的下游压力控制

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