基质转移

半导体是在专门设计的工艺室中分几个步骤生产的。在从一个工艺室到另一个工艺室的传输过程中，传输阀起着决定性的作用。为了优化生产时间，从而提高产量，需要快速的开启和关闭时间，以及稳定、可靠的密封。VAT传输阀在这一领域树立了标准。

用于基质传输的VAT传输阀组合，即使在变化的工艺条件下也能精确、稳定地运行。每个系列的产品在所有的性能参数上都能适应客户的具体要求。主要特点包括可调节的开闭周期，避免过压的精确自适应密封，来自一个或两个执行器的无摩擦L型运动，以及防止颗粒活化。

要了解更多关于VAT传输阀解决方案如何解决基质传输的挑战，请从下面列出的系列中选择。