精确的薄膜沉积工艺在提高固态照明(SSL)系统(OLED和LED二极管的组合)的性能方面发挥着重要作用。SSL制造商要求薄膜沉积工艺能够提供质量稳定的精确涂层。VAT真空阀作为传输、控制或隔离阀,对工艺质量和稳定性有决定性的影响。
VAT真空阀解决方案对于严苛的沉积工艺赋予极其精确和稳定的功能,也有较高的可用性和较低的维护成本。
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为最新第 6 代显示器和光伏生产系统带来出色性能
快速且精准,尤其适用于腐蚀性工艺
出色的可靠性
快速且精准的下游压力控制