可靠性和效率

真空干燥通常需要阀门的解决方案。除了下游区域的隔离阀和控制阀外，排气阀以及在自动在线干燥系统中，用于装载和卸载工艺室的传输阀也很重要。

用于真空干燥的VAT真空阀组合包括一系列的阀门系列，其特点是可靠性高，正常运行时间长，维护要求非常低。

要了解更多关于VAT真空阀解决方案如何解决真空干燥的挑战，请选择下面的产品之一。

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09.2

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12.1

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真空隔离标准

角阀

24.4

1 × 10-7 mbar 至 5 bar (abs)

角阀

在大流量下提供出色可靠性

内联阀

24.5

1 × 10-7 mbar 至 5 bar (abs)

内联阀

在大流量下提供出色可靠性

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28.4

5 × 10-10 mbar 至 5 bar (abs)

超高真空角阀

出色的低放气性能

气体计量阀

62.7

1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

气体计量阀

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