经过现场验证的技术

用于晶体生长的VAT真空阀组合包括经过现场验证的阀门概念，特别注重防止颗粒的活化和排放。控制阀的特点是特别精确和精细的可控性，即使在低电导值下也能实现可靠的过程控制。高可用性和最小的维护要求补充了这些性能特点。

要了解更多关于VAT真空阀解决方案如何帮助解决特定的晶体生长挑战，请从下面列出的产品中选择。

相关系列

闸阀

12.1

1 × 10-7 mbar 至 1.6 bar (abs)

闸阀

真空隔离标准

高真空闸阀

14.0

高真空闸阀

适用于标准高循环真空隔离

带保护圈的高真空闸阀

17.2

1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

带保护圈的高真空闸阀

在各种恶劣条件下均可靠

迷你角阀/内联阀

21.4

1 × 10-8 mbar 至 10 bar (abs)

迷你角阀/内联阀

在无压缩空气的情况下为密封或排气提供出色可靠性

高真空角阀

26.4

1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

高真空角阀

出色的可靠性

高真内联阀

26.5

1 × 10-8 mbar 至 5 bar (abs)

高真内联阀

出色的可靠性

高真空蝶形控制阀

61.3

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

高真空蝶形控制阀

快速且精准的下游压力控制

高真空蝶形控制和隔离阀

61.6

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

高真空蝶形控制和隔离阀

快速且精准的下游压力控制和隔离

高真空蝶形控制阀

61.7

高真空蝶形控制阀

卓越的可控性低电导

角控制阀

62.0

1 × 10-8 mbar 至 1.4 bar (abs)

角控制阀

高压高温解决方案

气体计量阀

62.7

1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

气体计量阀

可高效控制真空室的气流

相关产品

边缘焊接金属波纹管

相关产品

法兰连接和密封