薄膜封装(CVD)

薄膜封装（TFEs）确保显示器的耐久性，并保护其不受环境影响。用于此目的的化学气相沉积（CVD）工艺在受控的大气条件下运行，需要精确控制工艺室的气体流量和压力条件。用于CVD工艺的VAT真空和气体计量阀是专门为这些工艺设计的。

用于CVD工艺的VAT真空和气体计量阀不仅能提供非常精确的控制，而且在与腐蚀性介质接触时具有很强的阻力。这大大提高了生产质量和可用性，进一步增强了整体盈利能力。

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