因此,可靠性、安全性和可用性是半导体无尘工艺真空阀的决定性成功标准。基于在全球半导体无尘工艺中安装了数以千计的真空阀的经验,全面和成熟的VAT真空阀组合可以满足所有半导体无尘的要求。
要了解更多关于VAT真空阀解决方案如何帮助解决半导体无尘系统问题,请从下面列出的产品中选择。
半导体无尘工艺可能具有挑战性:腐蚀性、研磨性和有毒气体和/或气流中的冷凝水和高水平的副作用都会严重影响真空阀的功能和可靠性。真空阀的主要功能包括防止回流污染,流速控制和泵隔离。
因此,可靠性、安全性和可用性是半导体无尘工艺真空阀的决定性成功标准。基于在全球半导体无尘工艺中安装了数以千计的真空阀的经验,全面和成熟的VAT真空阀组合可以满足所有半导体无尘的要求。
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