用干式蚀刻工艺批量制造多层叠片需要最佳的密封技术（具有自清洁功能）和整体可靠的工具设计，才能得以实现高正常运行时间。VAT真空阀解决方案提供了创新的功能，以确保提高工艺安全和增强工具的正常运行时间。

要了解更多关于VAT真空阀解决方案如何帮助解决干式蚀刻工艺问题，请从下面列出的产品中选择。

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1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

高真空角阀

出色的可靠性

高真内联阀

26.5

1 × 10-8 mbar 至 5 bar (abs)

高真内联阀

出色的可靠性

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29.2

1 × 10-7 mbar 至 2 bar (abs)

带软抽功能的高真空角阀

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高真空控压摆阀

65.3

1 × 10-8 mbar 至 1 bar (abs)

高真空控压摆阀

可优化半导体与显示器系统中的下游压力控制和隔离

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